国度常识产权局信息流露，上海硬石科技有限公司肯求一项名为“一种基于赞助电源协同换取溅射电源的等离子体引发形状”的专利，公开号CN121852863A，肯求日历为2026年2月。

专利摘抄流露，本发明触及一种基于赞助电源协同换取溅射电源的等离子体引发形状。其中，该形状包括：基于等离子体负载真空腔体接GND的安全建树，将第一换取电源输出端悬空，获取其输出的第一电压换取电压；通过电极引发工艺气体并网罗该电源及时使命电流，判断等离子体开动引发情景，不竭第二直流赞助电源输出负极与第一换取电源输出端，变成协同供电基础电路；导通第一换取电源输出端与GND，获取第二电压，摆布第一换取电源输出端电压周期性，得到输出详察对GND的周期性变化电压，开云app官方网罗第二直流赞助电源及时使命电流并二次判断引发情景；得到褂讪供电与反向电压保护，借助预设开关最大导通时刻已毕赞助起辉电途经载保护，已毕了电路保护并提升了等离子体引发概率。

天眼查贵寓流露，上海硬石科技有限公司，蛊惑于2020年，位于上海市，是一家以从事科技推行和应用管功绩为主的企业。企业注册成本78.95万东说念主民币。通过天眼查大数据分析，上海硬石科技有限公司参与招投标形势11次，专利信息16条，此外企业还领有行政许可2个。

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